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専門知識領域
SEMI T7-0303 (Reapproved 0709)
SEMI M52は，走査型表面検査システム（SSISs: scanning surface inspection systems）の校正のため，認証された標準試料（CRMs: certified reference materials）の使用を要求している。校正方法は，SEMI M53で規定されている。本テスト法は，差分移動度解析器（DMA: differential mobility analyzer）を用いた特定のパーティクル堆積システムが，要求されているCMRsを制作出来るか否かを決定する手順を提供する。
本安全基準意在建立一套以功能性為基礎的半導體製造設備的環保、健康及安全基準考量。
1-1015 (technical revision)
F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 StdTpc-Jig ID 専門知識領域global Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 1252 22 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used